Titanova rotacijska cilindrična tarča

Je komponenta, ki se uporablja v postopkih fizičnega naparjevanja (PVD), ki je metoda za nanašanje tankih plasti materiala na podlago. Tarča iz titanove cevi je izdelana iz čistega titana in je oblikovana kot valj, ki se med postopkom PVD vrti.

Postopek PVD deluje z uporabo električnega obloka ali magnetronskega razprševanja za uparjanje ciljnega materiala, v tem primeru titana, in odlaganje kot tanek film na podlago. Vrtljiva cilindrična tarča omogoča bolj enakomerno nanašanje titanovega filma na podlago.

Prednosti uporabe v postopkih PVD vključujejo visoko čistost nanesenega filma, visoko stopnjo nanašanja in izboljšan oprijem filma. Titanove rotacijske tarče za magnetronsko razprševanje so izdelane iz visokokakovostnega titanovega materiala in so zasnovane tako, da prenesejo visoke temperature in mehanske obremenitve med postopkom PVD.

Specifikacija Uvod

Tip normalne velikosti:

Naša prednost

Tarče iz titana, ki jih dobavljamo, imajo majhna zrna, enakomerno porazdelitev, visoko čistost, malo vključkov in visoko čistost. Odloženi TiN film se uporablja v dekoraciji, orodju, polprevodnikih in na drugih področjih, z dobrim oprijemom, enakomernim premazom in svetlimi barvami.

--Čistost

Za izdelavo kvalificirane tarče za naprševanje iz titana je čistost eden od njenih pomembnih kazalnikov učinkovitosti. Čistost titanove tarče ima velik vpliv na učinkovitost brizgalne prevleke. Višja kot je čistost titanove tarče, manj je delcev nečistoč v napršenem titanovem filmu, kar ima za posledico boljše delovanje PVD prevleke, vključno z boljšo odpornostjo proti koroziji ter električnimi in optičnimi lastnostmi. Vendar pa imajo v praktični uporabi titanove tarče za različne namene različne zahteve glede čistosti. Ciljni material se uporablja kot vir katode pri razprševanju, nečistotni elementi in vključki poroznosti v materialu pa so glavni viri onesnaženja nanesenega filma. Vključki poroznosti bodo v bistvu odstranjeni med nedestruktivnim testiranjem ingota, vključki poroznosti, ki niso odstranjeni, pa bodo povzročili praznjenje med postopkom naprševanja, kar bo vplivalo na kakovost filma; vsebnost elementov nečistoč se lahko odraža le v rezultatih testa analize popolnih elementov, nižja kot je skupna vsebnost nečistoč, večja je čistost titanove tarče.

--Gostota

Gostota je tudi pomemben dejavnik pri merjenju kakovosti titanovih tarč. Da bi zmanjšali poroznost v trdni tarči in izboljšali učinkovitost napršenega filma, mora imeti tarča običajno večjo gostoto.

Gostota tarče ne vpliva samo na hitrost razprševanja, temveč tudi na električne in optične lastnosti filma. Večja kot je ciljna gostota, boljša je učinkovitost filma. Poleg tega povečanje gostote in trdnosti tarče omogoča, da tarča bolje prenese toplotne obremenitve med brizganjem. Gostota je tudi eden ključnih kazalnikov uspešnosti cilja.

--Velikost delcev in njihova porazdelitev

Običajno so tarče za razprševanje polikristalne strukture z velikostjo zrn od nekaj mikrometrov do nekaj milimetrov. Za isto tarčo, manjša kot je velikost delcev tarče, večja je hitrost razprševanja tarče; poleg tega lahko tarča z manjšo razliko v velikosti delcev nabrizga film z bolj enakomerno debelino. Študija je pokazala, da če je velikost zrn titanove tarče nadzorovana pod 100 μm in je variacija velikosti zrn znotraj 20 %, se lahko kakovost napršenega filma močno izboljša.

--kristalografska orientacija

Titan ima tesno zapakirano šesterokotno strukturo. Ker se atomi titanove tarče zlahka razpršijo vzdolž heksagonalne tesno zapakirane smeri atomov med razprševanjem, je mogoče kristalno strukturo tarče spremeniti s spremembo metode, da bi dosegli večjo hitrost razprševanja. za povečanje stopnje razprševanja. Kristalografska smer titanove tarče ima tudi velik vpliv na enakomernost debeline napršenega filma.

--Strukturna enotnost

Strukturna enotnost je tudi eden od pomembnih indikatorjev za preverjanje kakovosti cilja. Pri tarčah iz titana ni potrebna le ravnina razprševanja tarče, temveč tudi sestava običajne smeri, orientacija zrn in enakomernost povprečne velikosti zrn ravnine razprševanja. Samo na ta način lahko titanova tarča med življenjsko dobo hkrati pridobi titanov film enakomerne debeline, zanesljive kakovosti in dosledne velikosti zrn.

Primer specifikacije

Hitrost vrtenja: tarča se mora vrteti s hitrostjo do nekaj tisoč vrtljajev na minuto, da se doseže bolj enakomerna stopnja nanosa in podaljša življenjska doba tarče.

Hlajenje: tarča iz titanove cevi mora biti vodno hlajena, da se odvede toplota, ki nastane med postopkom nanašanja, in prepreči poškodba tarče.
Podložna plošča: Podložna plošča iz titana se običajno uporablja za podporo tarče vrtljivega cilindra in zagotavljanje električnega kontakta.
Metoda lepljenja: Tarča je običajno vezana na podložno ploščo z difuzijskim lepljenjem ali drugimi metodami lepljenja visoke trdnosti, da se zagotovi dobra toplotna in električna prevodnost.
Čistost: titanove rotacijske tarče za magnetronsko razprševanje morajo imeti visoko stopnjo čistosti, da se čim bolj zmanjšajo nečistoče v nanesenih filmih in zagotovi dosledna učinkovitost. Stopnja nečistoč mora biti manjša od 1000 delcev na milijon (ppm) za večino aplikacij.

Na splošno se bodo specifikacije tarče z vrtljivim cilindrom iz titana razlikovale glede na posebne zahteve uporabe, tarčo pa je mogoče prilagoditi, da bo ustrezala tem potrebam.

Priljubljena oznake: Titanove rotacijske tarče za magnetronsko razprševanje, tarča iz titanove cevi