Večločne tarče iz kovin visoke čistosti

Večločne okrogle tarče iz kovine in zlitine

1.Čistost: 2N8,3N,3N5.4N,4N5,5N

2. Tehnika in površina: kovana, brušena, sijoča ​​svetla površina, HIP

3. Oblika/oblika: krožna/ravna/cevasta/okrogla/plošča/cev, izdelana po meri po risbi

4. Velikost:

Okrogli premer: 60 ~ 1000 mm, debelina: 10 ~ 1500 mm

Debelina plošče (15 ~ 30) * širina (50 ~ 1500) * dolžina (100 ~ 2000) mm

OD cevi: 20 ~ 300 mm, debelina: 5 ~ 60 mm, dolžina: 50 ~ 2000 mm

Drugo povezano

Ravna/okrogla kovinska tarča visoke čistosti 99,99 % do 99,995 Tarča za brizganje Krom Cr

Kovina: Ti, Ni, Cu, Co, Cr, Al, Fe, V, Zn, Sn, W, Mo, Ta, Nb, Zr, Hf, Ge, Bi, Sb, Mg, Mn itd.

Tarče iz kovinskih zlitin: Mo, Zr, Ta, Nb, NbZr, Ni, Si, Sn, NiGr (8:2), NiGr (95:5), NiV, NiCu, NiCr, NiFe, TiAl, AlCr, SiAl, CoFe, Posebne zlitine CoCr, VFe, TiCr, TiV, NiTi, NbTi, WTi, WCu, SiGe, CoTaZr, CuNiMn itd. je mogoče prilagoditi.

Tarče redkih zemelj: Sc, Y, La, Ce, Gd, Tb, Dy, Nd, Sm, Er, Tm, Yb itd., druge zlitine je mogoče prilagoditi.

Kovina visoke čistosti: Ni, Ti, Al, V, Co, Cu, Ta, Nb, W, Mo, Cr, Ag, Au itd.

Kovinski lonček: W, Mo, Ta, Nb, Cu itd
Kovinski stožec: Ni, Ti, Co, Cr, Ta, Nb, W, Mo itd.

Aplikacija

Tarča se nanaša na vir razprševanja, ki lahko razprši različne funkcionalne tanke plasti na substrat (steklo, PET itd.) pod ustreznimi procesnimi pogoji z magnetronskim razprševanjem, ionsko prevleko z več loki ali drugim premaznim sistemom.

Sistem magnetronskega razprševanja postavi Gaussov močan magnet za negativno tarčo, vakuumska komora pa je napolnjena z določeno količino inertnega plina (Ar) kot nosilca razelektritve. Pod delovanjem visokega tlaka se atomi Ar ionizirajo v Ar+ ione in elektrone, kar povzroči plazemsko žarečo razelektritev. Med pospeševanjem leta do podlage na elektrone deluje pravokotno na električno polje magnetno polje, ki odkloni elektrone in se vežejo na površino blizu tarče. V območju plazme elektroni spiralno napredujejo vzdolž tarčne površine in med gibanjem nenehno trčijo z atomi Ar, pri čemer ionizirajo veliko količino ionov Ar+. Po večkratnih trkih se energija elektronov postopoma zmanjšuje, znebi se magnetnih silnic in končno pade na podlago, notranjo steno vakuumske komore in ciljni vir.

Priljubljena oznake: